当社製品の特長

シリコンウェーハ業界における汚染回収技術の問題とその解決方法という流れで、当社製品の特長をご紹介いたします。
 

従来の問題

従来のエッジ汚染回収技術
・基本は水平になっているウェーハを垂直に立てる
・回転させながらエッジだけを液に侵漬するので、難しい。
 
特開平11-204604 C.Sparks et. Al., Proceedings of SPINE vol.5041(2003)pp.99.
特開平11-204604 C.Sparks et. Al., Proceedings of SPINE vol.5041(2003)pp.99.
 
従来の方法の問題点
・ウェーハを垂直回転させるための専用装置が必要
・液貯めの液量をある程度より少なくすることができない
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当社にて、従来の回収装置(水平回転型)に適用可能で、かつ必要液量が少ない回収治具を開発致しました。
 
 

当社製品の特長による解決方法

表面張力を利用したエッジ回収治具
表面張力を利用したエッジ回収治具
・側面スリットからわずかにはみ出した液にエッジ部を接触
・表面張力により液が丸まるため、液は流れ出ることがありません
 
エッジ回収の実際
エッジ回収の実際 エッジ回収の実際
・エッジ部だけを液に接触させながらウェーハを回転
・位置を調整することで表裏面に液が回り込まないように設定可能です。(特許取得)
 
この技術が可能な製品へのリンク
» 半自動回収装置 SC-7000
» 半自動回収装置 SC-8000
» 半自動回収装置 SC-9000
 
 
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