自動回収装置  NAC-300/NAC-301

 

自動回収装置  NAC-300/NAC-301 特長

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NAC-300
●キャリアケースに入った状態のシリコンウェーハに対して、気相分解→汚染回収→回収したサンプルの稀釈までの作業を全自動で実施します。

●多数のウェーハからサンプルを取り、分析する用途に威力を発揮します。

●回収した薬液の計量・稀釈機能を持ち、ウェーハ上に薬液が残った状態での作業続行を防止します。

●独自の二重扉構造で、作業空間内の酸雰囲気と作業者側の汚染が交錯するのを防止します。

●サンプリングに使用した保持具を自動洗浄する機能を持ち、作業者の手間を削減します。(※表面用保持具のみ)

 
自動回収装置 NAC-300/NAC-301 特長

NAC-301
●キャリアケースに入った状態のシリコンウェーハに対して、気相分解→汚染回収→回収したサンプルの稀釈までの作業を全自動で実施します。

●多数のウェーハからサンプルを取り、分析する用途に威力を発揮します。

●回収した薬液の計量・稀釈機能を持ち、ウェーハ上に薬液が残った状態での作業続行を防止します。

●独自の二重扉構造で、作業空間内の酸雰囲気と作業者側の汚染が交錯するのを防止します。

●サンプリングに使用した保持具を自動洗浄する機能を持ち、作業者の手間を削減します。(※表面・側面用保持具に両対応)

●バルクエッチング等の追加機能を搭載したオプションアームが実装可能です。

 
 

半自動回収装置 NAC-300/NAC-301 仕様

装置名 NAC-300 NAC-301
対応ウェーハサイズ 125mm、150mm、200mm、300mm
操作 本体備え付けのパソコン(タッチパネル操作)
基本回収パターン リング状、扇形、固定半径、円弧
追加回収パターン(※1) 側面、矩形、弓形
オリフラ処理 リング状、固定半径、側面の回収パターンに付与
側面用保持具自動洗浄 -
オプションアーム -
外形(W×D×H)(mm)(※2) 1300×1200×2000 1300×1350×2000
使用設備 排水、一般排気、酸排気
必要ユーティリティ 電源(AC100V 15A)、純水、N2、クリーンドライエア
※1:オプションで別見積になります。
※2:突起物は含みません。
 
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