半自動回収装置  SC-2000/SC-3000

 

半自動回収装置 SC-2000/SC-3000 特長

半自動回収装置 SC-2000

SC-2000
●パソコンと接続して多彩な回収パターンを作成し、シリコンウェーハの表面や側面(ベベル部)から微量金属汚染を回収(サンプリング)します。
●外部資源をあまり必要とせず、また場所もとらないため、装置の導入が容易です。
●機械による作業なので、操作者の熟練を必要とせず、誰でも手軽にサンプリングできます。

 
半自動回収装置 SC-3000

SC-3000
●パソコンと接続して多彩な回収パターンを作成し、シリコンウェーハの表面や側面(ベベル部)から微量金属汚染を回収(サンプリング)します。
●外部資源をあまり必要とせず、また場所もとらないため、装置の導入が容易です。
●機械による作業なので、操作者の熟練を必要とせず、誰でも手軽にサンプリングできます。

●サンプリング用薬液の供給や保持具の移動を装置側が自動で実施するため、SC-2000に比べて、作業者による汚染をより少なくできます。

 
 

半自動回収装置 SC-2000/SC-3000 仕様

装置名 SC-2000 SC-3000
対応ウェーハサイズ 100mm、125mm、150mm、200mm、300mm
操作 パソコン(※2)
保持具の装着/脱着 手動 自動
サンプリング用薬液の供給 手動 自動
サンプリング用薬液の回収 手動 自動(※1)
基本回収パターン リング状、扇形、固定半径、円弧
追加回収パターン(※1) 側面、矩形、弓形
オリフラ処理 リング状、固定半径、側面の回収パターンに付与
吸い上げ式液回収(※1) -
外形(W×D×H)(mm) 480×495×500
使用場所 クリーンドラフト内
必要ユーティリティ 電源(100~240VAC)(※3)、クリーンドライエア

※1:オプションで別見積になります
※2:パソコンは御客様で御用意いただくか、別見積にて準備いたします(WinXP以上、RS-232CポートかUSBポートが必要)

※3:2008年10月までの機種は、100VAC専用です

 
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