SC-7000
●パソコンと接続して多彩な回収パターンを作成し、シリコンウェーハの表面や側面(ベベル部)から微量金属汚染を回収(サンプリング)します。

●機械による作業なので、操作者の熟練を必要とせず、誰でも手軽にサンプリングできます。

●2本の薬液ボトルとバブリング機構、バブリングガスをウェーハ表面に照射するノズルを備え、シリコンウェーハの表面数ミクロンを部分的かつ制御が容易な状態でバルクエッチングする機能を持ちます。