半自動回収装置 SC-8000/SC-9000
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半自動回収装置 SC-8000/SC-9000 特長
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SC-8000
●親水状態のウェーハからも汚染を回収できる機能を持ち、シリコン以外の材質のウェーハや、バルクエッチング等で表面が荒れてしまったウェーハに対してもサンプリングが可能です。
●ウェーハの状態やサンプリング用薬液の種類に対する制限が緩和され、重金属以外のイオン等の回収も可能となります。
●もちろん、従来の疎水面サンプリングも可能です。
動画付きの操作の説明はこちら |
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SC-9000
●親水状態のウェーハからも汚染を回収できる機能を持ち、シリコン以外の材質のウェーハや、バルクエッチング等で表面が荒れてしまったウェーハに対してもサンプリングが可能です。
●ウェーハの状態やサンプリング用薬液の種類に対する制限が緩和され、重金属以外のイオン等の回収も可能となります。
●もちろん、従来の疎水面サンプリングも可能です。
●サンプリング用薬液の供給や保持具の移動を装置側が自動で実施するため、SC-8000に比べて、作業者による汚染をより少なくできます。
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半自動回収装置 SC-8000/SC-9000 仕様
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| 装置名 |
SC-8000 |
SC-9000 |
| 対応ウェーハサイズ |
100mm、125mm、150mm、200mm、300mm |
| 操作 |
パソコン（※2） |
| 保持具の装着/脱着 |
手動 |
手動 |
| サンプリング用薬液の供給 |
手動 |
自動 |
| サンプリング用薬液の回収 |
手動 |
自動 |
| 基本回収パターン |
リング状、扇形、固定半径、円弧 |
| 追加回収パターン（※1） |
側面、矩形、弓形、正方形 |
| オリフラ処理（※1） |
リング状、固定半径、側面の回収パターンに付加 |
| 新水面の回収 |
○ |
○ |
| 外形(W×D×H)(mm) |
480×495×500 |
800×495×500 |
| 使用場所 |
クリーンドラフト内 |
| 必要ユーティリティ |
電源(100～240VAC)(※3)、クリーンドライエア、N2 |
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※1：オプションで別見積になります
※2：パソコンは御客様で御用意いただくか、別見積にて準備いたします(WinXP以上、RS-232CポートかUSBポートが必要)
※3：2008年10月までの機種は、100VAC専用です |
| 親水状態のウェーハの側面はサンプリングできません。ご了承下さい。 |
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