気相分解用 VPDBOX 特長

 

VPD BOX 特長

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VPD BOX
●フッ酸液の自然気化を使用して、シリコンウェーハ上の酸化膜・窒化膜を気相分解し、ウェーハ表面を疎水状態にする装置です。

●酸液および酸雰囲気の触れる箇所はPTFEとPVDFを使用しています。

●半自動回収装置SCシリーズと合わせてご使用下さい。

 
 

気相分解用 VPDBOX 仕様

 
  200-1M 300-1M 300-5M 300-6M
最大処理枚数 1枚 5枚 6枚
対応ウェーハサイズ
100mm
125mm
150mm
200mm
300mm -
外形(W×D×H)(mm) 270×300×130 370×400×130 400×400×510
使用場所 クリーンドラフト内
外部資源 N2ガス(酸雰囲気パージ用)
 
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