表面汚染回収装置を活用した様々なニーズの提供ならNAS技研にお任せ下さい。

優れたバルクエッチング機能

当社の技術の一つに、ウェーハ内部の汚染物質を回収するために表面全体を削っていく「バルクエッチング」という機能があります。
バルクエッチングを行う際に重要なのが、表面を均一に掘っていけるかを判定する「平坦度」です。
当社のバルクエッチングの性能は非常に優れ、10％以内の平坦度を保証しております。

世界トップクラスの汚染回収機能

シリコンウェーハ側面の汚染回収操作である「ベベル回収」において国際特許を取得しています。
親水面ウェーハの回収においても国内特許を取得し、世界トップクラスの機能性や技術力を誇っています。

万全なアフターサービス

当社製品のメンテナンスは、海外・日本全国に対応しております。
原則、国内外からメンテナンスの依頼を受けた場合、48時間以内にご連絡をしております。
故障や装置の打合せなどで詳細を確認する場合は、オンライン会議を適宜取引先様と開催をしています。
製品にメンテナンス期限はありませんので、長期間安心して当社装置をご使用いただけます。