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製品紹介

気相分解用 VPDBOX

気相分解用 VPDBOX

VPD BOX-300-5M
VPD BOX 特徴
●フッ酸液の自然気化を使用して、シリコンウェーハ上の酸化膜・窒化膜を気相分解し、ウェーハ表面を疎水状態にする装置です。
●酸液および酸雰囲気の触れる箇所はPTFEとPVDFを使用しています。
●半自動回収装置SCシリーズと合わせてご使用下さい。


装置名 VPDBOX-200-1M VPDBOX-300-1M VPDBOX-300-5M VPDBOX-300-6M
最大処理枚数 1枚 1枚 5枚 6枚
対応
ウェーハ
サイズ
100mm
125mm
150mm
200mm
300mm
外形(W×D×H)(mm)(※1) 345×336×406 445×436×510 486×400×542 486×400×592
重量 6kg 8kg 15kg 18kg
使用場所 クリーンドラフト内
外部資源 N2ガス(酸雰囲気パーシ用)
※1:突起物は含みません。

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