●通过与计算机联机，可选择丰富多样的采样模式，对晶圆正面以及端面的微量金属污染物进行采样操作。
●因为不太需要外部资源，也不太占地方，易于导入。
●采样操作由设备自动完成，无需熟练工就可轻松完成采样操作。
●采样液的供给和支架具的移动由设备自动操作，与SC-2000相比，可以减少由操作员引起的污染。
SC-8100
●具有对亲水晶圆污染物进行采样的功能、对于硅材质以外的晶圆、由于基体蚀刻等导致表面粗糙的晶圆也可进行采样操作。
●对于晶圆表面状态、采样液种类的要求不苛刻，另外，还可以对非重金属离子进行采样。
●当然，也可以进行传统的憎水采样操作。
SC-9100
●具有对亲水晶圆污染物进行采样的功能、对于硅材质以外的晶圆、由于基体蚀刻等导致表面粗糙的晶圆也可进行采样操作。
●对于晶圆表面状态，以及采样液种类的采样限制，本设备有所突破，另外，也可以对非重金属离子进行采样。
●当然，也可以进行常规的憎水采样操作。
●采样液的供给和支架具的移动由设备自动操作，与SC-8100相比，可以减少由操作员引起的污染。
| 设备名称 | SC-3100 | SC-8100 | SC-9100 | |||||||
| 操作控制 | 电脑(※3) | |||||||||
| 支架具的装/卸 | 自动 | 手动 | 自动 | |||||||
| 采样液的供给 | 自动 | 手动 | 自动 | |||||||
| 采样液的回收 | 自动(※1) | 手动 | 自动 | |||||||
| 采样基本模式 | 圆环形、扇形、固定半径、圆弧 | |||||||||
| 采样追加模式(※1) | 端面、弧形、长方形 | |||||||||
| 晶圆排片(※2) | 对圆环形、固定半径、端面采样模式有追加项 | |||||||||
| 吸取式采样 | 〇 | ー | 〇 | |||||||
| 亲水面采样 | ー | 〇 | 〇 | |||||||
| 外形尺寸(WxDxH)(mm) | 630×550×600 | 600×550×700 | 630×550×790 | |||||||
| 重量 | 35Kg | 40Kg | 50Kg | |||||||
| 安装环境 | 无尘通风柜内 | |||||||||
| 所需外部资源 | 电源(100～240VAC)、 纯净水、干洁气源 |
电源(100～240VAC)、 N2、干洁气源 |
电源(100～240VAC)、 纯净水、N2、干洁气源 |
|||||||
※1，2: 追加项目需要另外计费，另外，对于亲水状态的晶圆，不能进行端面采样，谨请谅解。
※3：配置电脑需要另外计费。
