简易型微量金属污染物采样设备（SC系列）
追加了SC-2000 / SC-3000无法实现的亲水晶圆污染物采样功能。可以对硅材质以外的晶圆、由于蚀刻等导致表面粗糙的晶圆进行采样操作。当然，也可以进行传统的憎水采样操作。
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