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气相分解用 VPDBOX

气相分解用 VPDBOX

VPD BOX-300-5M
VPD BOX 特点
●利用氟酸液的自然气化,将硅晶圆表面的氧化膜、氮化膜实施气相分解,使晶圆表面成为憎水状态的设备
●酸液及酸气氛接触的地方使用PTFEPVDF材料。
●和半自动采样设备SC系列配套使用。


装设备名称 VPDBOX-200-1M VPDBOX-300-1M VPDBOX-300-5M VPDBOX-300-6M
处理晶圆上限 1枚 1枚 5枚 6枚
处理晶圆规格 100mm
125mm
150mm
200mm
300mm
外形尺寸(WxDxH)(mm)(※1) 345×336×406 445×436×510 486×400×542 486×400×592
重量 6kg 8kg 15kg 18kg
安装环境 无尘通风柜内
所需外部资源 N2气体(酸氛排气用)
※1:不含设备的突出部分。

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