●利用氟酸液的自然气化，将硅晶圆表面的氧化膜、氮化膜实施气相分解，使晶圆表面成为憎水状态的设备。
●酸液及酸气氛接触的地方使用PTFE和PVDF材料。
●和半自动采样设备SC系列配套使用。
| 装设备名称 | VPDBOX-200-1M | VPDBOX-300-1M | VPDBOX-300-5M | VPDBOX-300-6M | |||||||||
| 处理晶圆上限 | 1枚 | 1枚 | 5枚 | 6枚 | |||||||||
| 处理晶圆规格 | 100mm | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ||||||||
| 125mm | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |||||||||
| 150mm | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |||||||||
| 200mm | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |||||||||
| 300mm | ― | 〇 | 〇 | 〇 | |||||||||
| 外形尺寸(WxDxH)(mm)(※1) | 345×336×406 | 445×436×510 | 486×400×542 | 486×400×592 | |||||||||
| 重量 | 6kg | 8kg | 15kg | 18kg | |||||||||
| 安装环境 | 无尘通风柜内 | ||||||||||||
| 所需外部资源 | N2气体（酸氛排气用） | ||||||||||||
